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＜図書＞
Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / by T. Makabe and Z. Petrović
(Series in plasma physics)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boca Raton, FL : Taylor & Francis |
| 分 類 | LCC:TA2020 DC22:621.044 |
| 出版年 | 2006 |
| 大きさ | 339 p. : ill. ; 24 cm |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | 真壁, 利明 <マカベ, トシアキ> Petrović, Z. (Zoran Lj) |
| 件 名 | LCSH:Plasma engineering |
| 書誌ID | 1000073642 |
| NCID | BA76918777 |