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<図書>
Radio frequency power in plasmas : 16th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas, Park City, Utah 11-13 April 2005 / editors, Stephen J. Wukitch, Paul T. Bonoli
(AIP conference proceedings ; v. 787)

データ種別 図書
出版者 Melville, N.Y : American Institute of Physics
出版年 c2005
大きさ xiii, 457 p. : ill. ; 25 cm

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3F
426BB||Pc-Rad||2005 50012137