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＜図書＞
Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience |
| 分 類 | LCC:QC718.5.D9 DC22:530.4/4 |
| 出版年 | c2005 |
| 大きさ | xxxv, 757 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3F |
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426BB||Lie||2nd ed. | 50011865 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references (p. 735-748) and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J |
| 件 名 | LCSH:Plasma dynamics LCSH:Thin films -- Surfaces 全ての件名で検索 LCSH:Plasma etching LCSH:Plasma chemistry -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | 1000071154 |
| NCID | BA72469354 |