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<図書>
ハクマク サクセイ ノ キソ
薄膜作成の基礎 / 麻蒔立男著

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
出版年 1996.3
大きさ 7, 357, 4p ; 21cm

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3F
510A||Asa 40026122

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一般注記 各章末: 参考文献
著者標目 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ>
件 名 BSH:薄膜
BSH:真空技術
NDLSH:薄膜
書誌ID 1000069696
NCID BN14295768

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