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＜図書＞
Fundamental electron interactions with plasma processing gases / Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff
(Physics of atoms and molecules)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers |
| 分 類 | LCC:QC794.6.C6 DC22:539.7/57 |
| 出版年 | c2004 |
| 大きさ | xii, 776 p. : ill. ; 26 cm |
| URL |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3F |
|
426BB||Chr | 50011162 |
|
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Christophorou, L. G. Olthoff, James Kenneth, 1958- |
| 件 名 | LCSH:Electron-molecule collisions LCSH:Plasma (Ionized gases) |
| 書誌ID | 1000069682 |
| NCID | BA65557815 |