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<図書>
Fundamental electron interactions with plasma processing gases / Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff
(Physics of atoms and molecules)

データ種別 図書
出版者 New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers
分 類 LCC:QC794.6.C6
DC22:539.7/57
出版年 c2004
大きさ xii, 776 p. : ill. ; 26 cm
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3F
426BB||Chr 50011162

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一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目 Christophorou, L. G.
Olthoff, James Kenneth, 1958-
件 名 LCSH:Electron-molecule collisions
LCSH:Plasma (Ionized gases)
書誌ID 1000069682
NCID BA65557815

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