<図書>
Ion implantation in microelectronics : a comprehensive bibliography / A. H. Agajanian
(Computer science information guides ; v. 1)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | New York : IFI/Plenum |
分 類 | LCC:Z5838.S4 LCC:TK7871.85 DC19:016.621381/71 |
出版年 | c1981 |
大きさ | x, 255 p. ; 26 cm |
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一般注記 | Includes indexes ***遡及データをもとにした流用入力である |
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著者標目 | *Agajanian, A. H. |
件 名 | LCSH:Semiconductor doping -- Bibliography
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書誌ID | 1000056653 |
NCID | BA27974534 |