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＜図書＞
Ion implantation / Heiner Ryssel and Ingolf Ruge
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Chichester [West Sussex] ; New York : Wiley |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/2 |
| 出版年 | c1986 |
| 大きさ | xvii, 459 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3F |
|
429AA||Rys | 10176451 |
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| 別書名 | 原タイトル:Ionenimplantation |
|---|---|
| 一般注記 | Translation of: Ionenimplantation Includes index |
| 著者標目 | *Ryssel, Heiner, 1941- Ruge, Ingolf |
| 件 名 | LCSH:Ion implantation LCSH:Semiconductors |
| 書誌ID | 1000055231 |
| NCID | BA00364146 |