<Books>
プラズマ ト セイマク ノ キソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
Material Type | Books |
---|---|
Publisher | 東京 : 日刊工業新聞社 |
Classification | NDC8:427.6 NDC8:431.7 NDC7:427.5 |
Year | 1986.8 |
Size | iv,202,iiip ; 22cm |
Hide book details.
Hide details.
Notes | 各章末:文献 |
---|---|
Authors | 小沼, 光晴(1950-) <コヌマ, ミツハル> |
Subjects | BSH:プラズマ NDLSH:プラズマ |
ID | 1000054321 |
NCID | BN00233219 |