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＜図書＞
プラズマ ト セイマク ノ キソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
分　類 NDC8:427.6
NDC8:431.7
NDC7:427.5
出版年 1986.8
大きさ iv,202,iiip ; 22cm

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3F
426E||Kon 10029544
目次PDF

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一般注記 各章末:文献
著者標目 小沼, 光晴(1950-) <コヌマ, ミツハル>
件　名 BSH:プラズマ
NDLSH:プラズマ
書誌ID 1000054321
NCID BN00233219

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