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＜図書＞
プラズマトセイマクノキソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著

データ種別	図書
出版者	東京 : 日刊工業新聞社
分　類	NDC8:427.6 NDC8:431.7 NDC7:427.5
出版年	1986.8
大きさ	iv,202,iiip ; 22cm

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配架場所	巻　次	請求記号	資料番号	状　態	コメント	予約
3F		426E\|\|Kon	10029544 目次PDF

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一般注記	各章末:文献
著者標目	小沼, 光晴(1950-) <コヌマ, ミツハル>
件　名	BSH:プラズマ NDLSH:プラズマ
書誌ID	1000054321
NCID	BN00233219