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<図書>
プラズマ ト セイマク ノ キソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
データ種別
図書
出版者
東京 : 日刊工業新聞社
分 類
NDC8:
427.6
NDC8:
431.7
NDC7:
427.5
出版年
1986.8
大きさ
iv,202,iiip ; 22cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
資料番号
状 態
コメント
予約
3F
426E||Kon
10029544
目次PDF
書誌詳細を非表示
一般注記
各章末:文献
著者標目
小沼, 光晴(1950-)
<コヌマ, ミツハル>
件 名
BSH:
プラズマ
NDLSH:
プラズマ
書誌ID
1000054321
NCID
BN00233219
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