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<図書>
Radio frequency power in plasmas : Tenth Topical Conference, Boston, MA, April 1993 / editors, Miklos Porkolab, Joel Hosea
(AIP conference proceedings ; no. 289)

データ種別 図書
出版者 New York, NY : American Institute of Physics
出版年 c1994
大きさ xv, 466 p. : ill. ; 25 cm

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3F
426BB||Pc-Rad||1993 10041572

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著者標目 Porkolab, Miklos
Hosea, Joel
Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas (10th : 1993 : Boston)
書誌ID 1000054232
NCID BA21851338