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＜図書＞
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators / Ian W. Boyd
(Springer series in materials science ; v. 3)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Berlin ; New York : Springer-Verlag |
| 分 類 | LCC:TA1677 DC19:621.36/6 |
| 出版年 | c1987 |
| 大きさ | viii, 320 p. : ill. ; 24 cm |
| URL |
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| 一般注記 | Bibliography: p. 287-313 Includes index |
|---|---|
| 著者標目 | *Boyd, Ian W. |
| 件 名 | LCSH:Lasers -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | 1000052798 |
| NCID | BA01434688 |