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ヒカリ ・ プラズマ プロセシング
光・プラズマプロセシング / 明石和夫[ほか]編
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| Classification | NDC8:427.6 NDC8:431.71 NDLC:MC241 |
| Year | 1986.9 |
| Size | 370,viip ; 22cm |
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| Notes | 文献:章末 |
|---|---|
| Authors | 明石, 和夫(1928-) [ほか]編 <アカシ, カズオ> |
| Subjects | BSH:プラズマ NDLSH:工業材料 NDLSH:膜(工学) |
| ID | 1000049812 |
| NCID | BN00432780 |