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＜図書＞
ヒカリ・プラズマプロセシング
光・プラズマプロセシング / 明石和夫[ほか]編

データ種別	図書
出版者	東京 : 日刊工業新聞社
分　類	NDC8:427.6 NDC8:431.71 NDLC:MC241
出版年	1986.9
大きさ	370,viip ; 22cm

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配架場所	巻　次	請求記号	資料番号	状　態	コメント	予約
3F		426E\|\|Aka	10029510 目次PDF

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一般注記	文献:章末
著者標目	明石, 和夫(1928-) [ほか]編 <アカシ, カズオ>
件　名	BSH:プラズマ NDLSH:工業材料 NDLSH:膜(工学)
書誌ID	1000049812
NCID	BN00432780