<図書>
Ion implantation : science and technology / edited by J.F. Ziegler
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Orlando, FL : Academic Press |
分 類 | LCC:QC702.7.I55 DC19:539/.6 |
出版年 | 1984 |
大きさ | 635 p. ; 24 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
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3F | alk. paper | 429AA||Zie | 10176667 |
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一般注記 | Includes index |
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著者標目 | Ziegler, J. F. |
件 名 | LCSH:Ion implantation |
書誌ID | 1000045431 |
NCID | BA01370949 |