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<図書>
Radio frequency power in plasmas : 12th Topical Conference : Savannah, GA April 1997 / editors, Philip M. Ryan, Thomas Intrator
(AIP conference proceedings ; no. 403)

データ種別 図書
出版情報 Woodbury, N.Y : American Institute of Physics , 1997
分 類 DC21:530.44
大きさ xiii, 496 p. : ill. ; 25 cm

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3F
426BB||Pc-Rad||1997 50002955

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