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<図書>
Ion beams : with applications to ion implantation / Robert G. Wilson, George R. Brewer

データ種別 図書
出版者 Huntington, N.Y. : R. E. Krieger Pub. Co.
分 類 LCC:TK7871.85
DC:621.3815/2
出版年 1979
大きさ xii, 500 p. : ill. ; 24 cm + 2 leaves of plates in pocket

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3F
426AB||Wil 10005429

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一般注記 Reprint of the ed. published by Wiley, New York, 1973
Includes bibliographies and index
著者標目 *Wilson, Robert G.
Brewer, George Raymond, 1922- joint author
件 名 LCSH:Ion implantation
LCSH:Semiconductors
LCSH:Microelectronics
書誌ID 1000022605
NCID BA07380661

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