<図書>
Ion beams : with applications to ion implantation / Robert G. Wilson, George R. Brewer
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Huntington, N.Y. : R. E. Krieger Pub. Co. |
分 類 | LCC:TK7871.85 DC:621.3815/2 |
出版年 | 1979 |
大きさ | xii, 500 p. : ill. ; 24 cm + 2 leaves of plates in pocket |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
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3F |
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426AB||Wil | 10005429 |
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一般注記 | Reprint of the ed. published by Wiley, New York, 1973 Includes bibliographies and index |
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著者標目 | *Wilson, Robert G. Brewer, George Raymond, 1922- joint author |
件 名 | LCSH:Ion implantation LCSH:Semiconductors LCSH:Microelectronics |
書誌ID | 1000022605 |
NCID | BA07380661 |