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＜図書＞
Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Wiley |
| 分 類 | NDC8:427.6 LCC:QC718.5.D9 DC20:530.4/4 |
| 出版年 | c1994 |
| 大きさ | xxvi, 572 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3F |
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426BB||Lie | 10027449 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references (p. 559-564) and index "A Wiley-Interscience publication." |
|---|---|
| 著者標目 | *Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J |
| 件 名 | LCSH:Plasma dynamics LCSH:Thin films -- Surfaces 全ての件名で検索 LCSH:Plasma etching LCSH:Plasma chemistry |
| 書誌ID | 1000017308 |
| NCID | BA2405445X |