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＜図書＞
Film deposition by plasma techniques / Mitsuharu Konuma
(Springer series on atoms + plasmas ; 10)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag |
| 分 類 | LCC:TK7871.15.F5 DC20:621.381/52 |
| 出版年 | c1992 |
| 大きさ | ix , 224 p. : ill. ; 24 cm |
| URL |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3F |
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429A||Ato||10 | 10188605 |
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| 別書名 | その他のタイトル:プラズマと成膜の基礎 |
|---|---|
| 一般注記 | Based on: Purazuma to seimaku no kiso / Mitsuharu Konuma. Cf. Pref Includes bibliographical references and index |
| 著者標目 | *小沼, 光晴 (1950-) <コヌマ, ミツハル> |
| 件 名 | LCSH:Thin films LCSH:Plasma-enhanced chemical vapor deposition |
| 書誌ID | 1000017039 |
| NCID | BA14397573 |