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＜図書＞
Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction / R.V. Stuart
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Academic Press |
| 分 類 | LCC:TP156.V3 DC19:621.5/5 |
| 出版年 | 1983 |
| 大きさ | viii, 151 p. : ill. ; 24 cm |
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| 一般注記 | Includes index |
|---|---|
| 著者標目 | *Stuart, R. V. |
| 件 名 | LCSH:Vacuum technology LCSH:Thin films LCSH:Cathode sputtering (Plating process) |
| 書誌ID | 1000016335 |
| NCID | BA06945480 |