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＜図書＞
Electron and ion optics / Miklos Szilagyi
(Microdevices : physics and fabrication technologies)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Plenum Press |
| 分 類 | LCC:QC793.5.E62 DC19:537.5/6 |
| 出版年 | c1988 |
| 大きさ | xvi, 539 p. : ill. ; 26 cm |
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| 一般注記 | Includes index Bibliography: p. 515-528 |
|---|---|
| 著者標目 | *Szilágyi, Miklós |
| 件 名 | LCSH:Electron optics LCSH:Electron beams LCSH:Ion bombardment LCSH:Electromagnetic lenses |
| 書誌ID | 1000015996 |
| NCID | BA03946294 |