Mendeley出力
＜図書＞
Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.P.H. Chang, B. Abeles
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 38)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
| 分 類 | LCC:TA2005 DC19:621.044 |
| 出版年 | c1985 |
| 大きさ | xv, 522 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3F |
|
426E||Pc-Pla||1984 | 10046266 |
|
書誌詳細を非表示
| 一般注記 | Papers presented at the Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials held in Boston, Mass. on Nov. 27-30, 1984 Includes bibliographies and indexes |
|---|---|
| 著者標目 | Chang, R. P. H. (Robert Pang Heng), 1941- Abeles, B. Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials (1984 : Boston, Mass.) Materials Research Society |
| 件 名 | LCSH:Plasma engineering -- Congresses
全ての件名で検索
LCSH:Plasma etching -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Electronics -- Materials -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | 1000014027 |
| NCID | BA03290705 |