<図書>
Plasma-surface interactions and processing of materials / edited by Orland Auciello ... [et al.]
(NATO ASI series ; ser. E . Applied sciences ; no. 176)
データ種別 | 図書 |
---|---|
出版者 | Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic Publishers |
分 類 | LCC:TA418.7 DC20:620/.44 |
出版年 | c1990 |
大きさ | xiii, 557 p. : ill. ; 25 cm |
URL |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 |
---|---|---|---|---|---|---|
3F |
|
426AB||Pc-Pla||1988 | 10005213 |
|
書誌詳細を非表示
一般注記 | "Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials, Alicante, Spain, September 4-16, 1988"--T.p. verso |
---|---|
著者標目 | *NATO Advanced Study Institute on Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials (1988 : Alicante, Spain) Auciello, Orlando, 1945- |
件 名 | LCSH:Materials -- Surfaces -- Congresses
全ての件名で検索
LCSH:Materials -- Effect of radiation on -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Microelectronics -- Materials -- Effect of radiation on -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Plasma etching -- Congresses 全ての件名で検索 |
書誌ID | 1000011788 |
NCID | BA10180092 |