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＜図書＞
Plasma etching : an introduction / edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm
(Plasma-materials interactions)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boston ; Tokyo : Academic Press |
| 分 類 | LCC:TA2020 DC19:621.044 NDC8:427.6 |
| 出版年 | c1989 |
| 大きさ | xii, 476 p. : ill. ; 24 cm |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Manos, Dennis M. Flamm, Daniel L. |
| 件 名 | LCSH:Plasma etching |
| 書誌ID | 1000011338 |
| NCID | BA07363130 |