Mendeley出力
＜図書＞
Beam processing technologies / edited by Norman G. Einspruch, S.S. Cohen, Raj N. Singh
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 21)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | San Diego, Calif. ; Tokyo : Academic Press |
| 分 類 | LCC:TK7874 NDC7:549.3 NDC7:549.46 NDC8:549.708 |
| 出版年 | c1989 |
| 大きさ | xii, 546 p. : ill. ; 24 cm |
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| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
|---|---|
| 著者標目 | Einspruch, Norman G. Cohen, Simon S. Singh, Raj N. |
| 件 名 | LCSH:Intergrated circuits -- Very large scale integration 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | 1000011111 |
| NCID | BA06985587 |