Physical sputtering of single-element solids

＜図書＞
Physical sputtering of single-element solids / edited by R. Behrisch, with contributions by H.H. Andersen ... [et al.]
(Topics in applied physics ; v. 47 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 1)

データ種別	図書
出版者	Berlin ; New York : Springer-Verlag
分　類	LCC:QC176.8.S72 DC19:530.4/1
出版年	1981
大きさ	x, 281 p. : ill. ; 24 cm
URL

配架場所	巻　次	請求記号	資料番号	状　態	コメント	予約
3F		426F\|\|Beh\|\|1	10046506 目次PDF

一般注記	Includes bibliographical references and indexes
著者標目	Behrisch, Rainer Andersen, Hans Henrik
件　名	LCSH:Sputtering (Physics) LCSH:Solids -- Effect of radiation on 全ての件名で検索 LCSH:Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on 全ての件名で検索
書誌ID	1000010408
NCID	BA00899234