Plasma processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.

＜図書＞
Plasma processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A. / editors, J.W. Coburn, R.A. Gottscho, D.W. Hess
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 68)

データ種別	図書
出版者	Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
分　類	LCC:TA2005 DC19:621.044
出版年	c1986
大きさ	xvii, 463 p. : ill. ; 24 cm

配架場所	巻　次	請求記号	資料番号	状　態	コメント	予約
3F		426E\|\|Pc-Pla\|\|l986	10046274 目次PDF

一般注記	Includes indexes
著者標目	Coburn, J. W., 1932- Gottscho, R. A. Hess, Dennis W. Materials Research Society Symposium on Plasma Processing (1986 : Palo Alto, Calif.)
件　名	LCSH:Plasma engineering -- Congresses 全ての件名で検索
書誌ID	1000010363
NCID	BA00570669