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＜図書＞
Dry etching for microelectronics / edited by Ronald A. Powell
(Materials processing, theory and practices ; v. 4)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | Amsterdam ; Tokyo : North-Holland New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co. , 1984 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC:621.381/73 |
| 大きさ | xi, 299 p. : ill. ; 24 cm |
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| 一般注記 | Bibliography: p. 223-294 Includes index |
|---|---|
| 著者標目 | Powell, Ronald A. |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Etching
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LCSH:Plasma etching |
| 書誌ID | 1000010319 |
| NCID | BA00157673 |