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テイオン プラズマ オウヨウ ギジュツ
低温プラズマ応用技術
(R&Dレポート ; no.41)

データ種別 図書
出版者 東京 : シーエムシー
分　類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
出版年 1983.2
大きさ 224p ; 26cm

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3F
426D||Tei 10068971
目次PDF

書誌詳細を非表示

一般注記 発売:ジスク
執筆者:村上洋一ほか
件　名 NDLSH:薄膜
NDLSH:プラズマ
書誌ID 1000001618
NCID BN03178627

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