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シンクウ ジョウチャク
真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳
Material Type | Books |
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Publisher | 東京 : アグネ |
Classification | NDC6:549 NDLC:ND351 |
Year | 1977.5 |
Size | 144p ; 22cm |
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Other titles | original title:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen |
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Notes | 文献:p139~144 |
Authors | Schiller, Siegfried, 1933- Heisig, Ullrich, 1933- 日本真空技術株式会社 <ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ> |
Subjects | NDLSH:薄膜 |
ID | 1000001541 |
NCID | BN02783006 |