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＜図書＞
シンクウ ジョウチャク
真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : アグネ |
| 分 類 | NDC6:549 NDLC:ND351 |
| 出版年 | 1977.5 |
| 大きさ | 144p ; 22cm |
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| 別書名 | 原タイトル:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen |
|---|---|
| 一般注記 | 文献:p139～144 |
| 著者標目 | Schiller, Siegfried, 1933- Heisig, Ullrich, 1933- 日本真空技術株式会社 <ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ> |
| 件 名 | NDLSH:薄膜 |
| 書誌ID | 1000001541 |
| NCID | BN02783006 |