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ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 産業図書 |
| Classification | NDC6:549.7 NDC8:549.7 NDLC:ND386 |
| Year | 1980.7 |
| Size | 6, 373p ; 22cm |
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| Notes | 各章末:参考文献 |
|---|---|
| Authors | 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> |
| Subjects | NDLSH:集積回路 |
| ID | 1000000290 |
| NCID | BN0059785X |