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＜図書＞
ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 産業図書 |
| 分 類 | NDC6:549.7 NDC8:549.7 NDLC:ND386 |
| 出版年 | 1980.7 |
| 大きさ | 6, 373p ; 22cm |
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| 一般注記 | 各章末:参考文献 |
|---|---|
| 著者標目 | 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> |
| 件 名 | NDLSH:集積回路 |
| 書誌ID | 1000000290 |
| NCID | BN0059785X |