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プラズマ プロセシング ノ キソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
Material Type | Books |
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Publisher | 東京 : 電気書院 |
Classification | NDC8:427.6 NDLC:MC241 |
Year | 1985.11 |
Size | 13, 391p ; 22cm |
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Other titles | original title:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching |
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Notes | Glow discharge processes, c1980 の翻訳 参考文献: p[357]-386 |
Authors | Chapman, Brian N. 岡本, 幸雄 <オカモト, ユキオ> |
Subjects | NDLSH:プラズマ |
ID | 1000000130 |
NCID | BN00319697 |