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＜図書＞
プラズマ プロセシング ノ キソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 電気書院 |
| 分 類 | NDC8:427.6 NDLC:MC241 |
| 出版年 | 1985.11 |
| 大きさ | 13, 391p ; 22cm |
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| 別書名 | 原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching |
|---|---|
| 一般注記 | Glow discharge processes, c1980 の翻訳 参考文献: p[357]-386 |
| 著者標目 | Chapman, Brian N. 岡本, 幸雄 <オカモト, ユキオ> |
| 件 名 | NDLSH:プラズマ |
| 書誌ID | 1000000130 |
| NCID | BN00319697 |