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スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
Material Type | Books |
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Publisher | 東京 : 東京大学出版会 |
Classification | NDC8:549 NDLC:ND371 |
Year | 1984.3 |
Size | ix, 231p ; 22cm |
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Notes | 各章末: 参考文献 一般的参考書: p226 |
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Authors | 金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ> |
Subjects | NDLSH:薄膜 |
ID | 1000000069 |
NCID | BN00164488 |