<図書>
サブミクロン・リソグラフィ ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ
サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集 / 北山豊樹[ほか]編
データ種別 |
図書 |
出版者 |
東京 : サイエンスフォーラム |
分 類 |
NDC8:549.7 NDLC:ND386
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出版年 |
1985.3 |
大きさ |
540p ; 31cm |
一般注記 |
監修:難波進 限定版 各章末:参考文献 |
著者標目 |
北山, 豊樹 <キタヤマ, トヨキ>
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件 名 |
NDLSH:リソグラフィー
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書誌ID |
1000001432 |
NCID |
BN02123266
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