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<図書>
サブミクロン・リソグラフィ ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ
サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集 / 北山豊樹[ほか]編
データ種別
図書
出版情報
東京 : サイエンスフォーラム , 1985.3
分 類
NDC8:
549.7
NDLC:
ND386
大きさ
540p ; 31cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
資料番号
状 態
コメント
予約
3F
540A||Kit
10105658
書誌詳細を非表示
一般注記
監修:難波進
限定版
各章末:参考文献
著者標目
北山, 豊樹
<キタヤマ, トヨキ>
件 名
NDLSH:
リソグラフィー
書誌ID
1000001432
NCID
BN02123266
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