<図書>
プラズマ プロセス ギジュツ : ナノザイリョウ サクセイ カコウ ノタメノ アトム テクノロジー
プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー / プラズマ・核融合学会編
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 森北出版 |
出版年 | 2017.1 |
大きさ | vii, 273p ; 22cm |
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一般注記 | 文献:章末 |
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著者標目 | プラズマ・核融合学会 <プラズマ カクユウゴウ ガッカイ> |
件 名 | BSH:材料科学 BSH:プラズマ物理学 |
書誌ID | 1000084228 |
NCID | BB22938144 |