<雑誌>
Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
データ種別 | 雑誌 |
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出版年 | 1991- |
出版者 | New York : American Institute of Physics |
大きさ | v. : ill. ; 29 cm |
別書名 | 表紙タイトル:Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomena 背表紙タイトル:JVSTB, Nanotechnology & microelectronics |
変遷注記 | 継続前誌:Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society |
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配架場所 | 所蔵巻号 | 年次 | 請求記号 | コメント |
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2F | 9-25 | 1991-2007 | F237-38 |
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所蔵巻号一覧
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別書名 | 表紙タイトル:Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomena 背表紙タイトル:JVSTB, Nanotechnology & microelectronics |
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変遷注記 | 継続前誌:Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society |
書誌ID | 2000000713 |
ISSN | 21662746 |
NCID | AA10804928 |