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＜雑誌＞
Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society
| データ種別 | 雑誌 |
|---|---|
| 出版情報 | New York : American Institute of Physics |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Journal of Vacuum Science & Technology |
| 変遷注記 | 継続後誌:Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society 継続後誌:Journal of vacuum science & technology. 2nd series. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Journal of Vacuum Science & Technology |
|---|---|
| 変遷注記 | 継続後誌:Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society 継続後誌:Journal of vacuum science & technology. 2nd series. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society |
| 著者標目 | American Vacuum Society |
| 件 名 | LCSH:Vacuum technology -- Periodicals 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | 2000000363 |
| ISSN | 00225355 |
| NCID | AA00708677 |